| 摘要 |
本发明的基板处理装置以及方法进行以下处理：即使在前步骤中附有从基板难以除去的处理液的情况下，也能够防止相对于基板而冲洗液逆流到前步骤的处理槽中，同时能够减低由残存在基板上的前步骤的处理液带来的不良影响。因此，在水洗处理部的处理室中，对搬送中的基板(W)的表面，从入口喷嘴(20)向基板搬送方向下游侧供给冲洗液，通过该水洗处理部也能够防止冲洗液向前步骤的处理槽的逆流，同时进行将在前步骤中供给的处理液置换为冲洗液的处理。对供给了该冲洗液之后的(W)的表面，从气液流体喷嘴(21)，在与基板搬送方向交叉的基板宽度的整个区域上，供给由气体与液体构成的气液流体，从而除去仍残存在基板表面的前步骤的处理液。 |
