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发明名称 CHEMICALLY AMPLIFIED RESIST COMPOSITION AND METHOD FOR FORMING PATTERNED FILM USING SAME
摘要
申请公布号 KR100750225(B1) 申请公布日期 2007.08.31
申请号 KR20010059523 申请日期 2001.09.26
申请人 发明人
分类号 G03F7/039;C08F220/12;C08F232/04;H01L21/027 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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