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发明名称
摘要
申请公布号
JP2008511971(A)
申请公布日期
2008.04.17
申请号
JP20070515066
申请日期
2005.03.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/8238;H01L21/28;H01L21/306;H01L27/092;H01L29/49;H01L29/51;H01L29/78;H01L31/113;H01L31/119
主分类号
H01L21/8238
代理机构
代理人
主权项
地址
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