| 发明名称 |
Method for making semiconductor devices |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3384518(A) |
申请公布日期 |
1968.05.21 |
| 申请号 |
US19650491535 |
申请日期 |
1965.09.30 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
SHODA KOICHIRO;MORIYAMA KYOJI |
| 分类号 |
C23C2/14;H01L21/00;H01L21/24 |
主分类号 |
C23C2/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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