| 发明名称 |
APPARATUS FOR EPITAXIALLY PRODUCING A LAYER ON A SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3459152(A) |
申请公布日期 |
1969.08.05 |
| 申请号 |
USD3459152 |
申请日期 |
1964.08.28 |
| 申请人 |
WESTINGHOUSE ELECTRIC CORP. |
发明人 |
LIBURN H. GARRISON;WILLIAM E. WINTER |
| 分类号 |
C30B25/02;(IPC1-7):B05C11/00 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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