| 发明名称 |
Verfahren zur Erhoehung der Ausbeute bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1564155(A1) |
申请公布日期 |
1969.11.27 |
| 申请号 |
DE19661564155 |
申请日期 |
1966.06.02 |
| 申请人 |
IBM DEUTSCHLAND INTERNATIONALE BUERO-MASCHINEN GMBH |
发明人 |
HORST STATZ,DR.-PHYS. |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/22;H01L29/00 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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