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发明名称
Schaltungsvorrichtung mit einem verdichteten UEberzugsfilm auf einer Unterlage und Verfahren zu ihrer Herstellung
摘要
申请公布号
DE2058059(A1)
申请公布日期
1971.06.09
申请号
DE19702058059
申请日期
1970.11.25
申请人
HITACHI LTD.
发明人
ITOH,YOKICHI;NARAOKA,KIYOTAKE;HORIUCHI,MASATADA;SUNAMI,HIDCO;SANO,HISUMI
分类号
H01L21/3105;H01L21/56
主分类号
H01L21/3105
代理机构
代理人
主权项
地址
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