发明名称 VORRICHTUNG ZUM HERSTELLEN EINES ROHRFOERMIGEN KOERPERS AUS HALBLEITERMATERIAL
摘要
申请公布号 DE1805970(B2) 申请公布日期 1971.09.23
申请号 DE19681805970 申请日期 1968.10.30
申请人 发明人
分类号 C23C16/44;C23C16/01;C30B29/60;H01L21/22;(IPC1-7):B01J17/32 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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