发明名称 Fremgangsmåde til fremstilling af halvledersiliciummetal ud fra en chlorsilan.
摘要
申请公布号 DK134900(B) 申请公布日期 1977.02.07
申请号 DK19700005610 申请日期 1970.11.04
申请人 UNION CARBIDE CORPORATION 发明人 HOWARD BURLEY BRADLEY;MAURICE HOWARD JELLINEK
分类号 C01B33/02;C23C16/24;C30B25/02;H01J9/20;(IPC1-7):C01B33/02 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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