| 发明名称 |
MANUFACTURE OF MULTIILAYER WIRING FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53110392(A) |
申请公布日期 |
1978.09.27 |
| 申请号 |
JP19770026739 |
申请日期 |
1977.03.08 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO |
发明人 |
OOGISHI TSUTOMU;SAKURAI TADASHI |
| 分类号 |
H01L21/768;H01L21/302;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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