发明名称 SURFACE STABLIZATION PROCESSING METHOD FOR TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPS5498572(A) 申请公布日期 1979.08.03
申请号 JP19780005411 申请日期 1978.01.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP 发明人 MATSUBARA HIDEAKI
分类号 H01L29/73;H01L21/316;H01L21/324;H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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