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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5565364(A) 申请公布日期 1980.05.16
申请号 JP19780136646 申请日期 1978.11.08
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 OKANO HARUO
分类号 C23F4/00;C23F1/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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