发明名称 |
PROCESS AND DEVICE FOR PREPARING POLYCRYSTALLINE SILICON |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6131312(A) |
申请公布日期 |
1986.02.13 |
申请号 |
JP19840151760 |
申请日期 |
1984.07.20 |
申请人 |
OSAKA TITANIUM SEIZO KK;KUNII DAIZO |
发明人 |
KUNII DAIZO |
分类号 |
C01B33/02;C01B33/027;C01B33/113 |
主分类号 |
C01B33/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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