发明名称 PROCESS AND DEVICE FOR PREPARING POLYCRYSTALLINE SILICON
摘要
申请公布号 JPS6131312(A) 申请公布日期 1986.02.13
申请号 JP19840151760 申请日期 1984.07.20
申请人 OSAKA TITANIUM SEIZO KK;KUNII DAIZO 发明人 KUNII DAIZO
分类号 C01B33/02;C01B33/027;C01B33/113 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
地址