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发明名称 CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 KR920007809(B1) 申请公布日期 1992.09.17
申请号 KR19850006819 申请日期 1985.09.18
申请人 HITACHI LTD.;HITACHI ENGINEERING & CONSTRUCTION CO., LTD. 发明人 SAIKI, ATSUSHI;SUZUKI, MICHIO;SUNAMI, HIDEO;ASAI, SHOJIRO;MAKI, MICHIYOSHI;ASAMI, KINICHIRO
分类号 F24F3/16;F24F7/10;(IPC1-7):F24F7/06 主分类号 F24F3/16
代理机构 代理人
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