发明名称 VERTICAL TRANSPORT DEVICE FOR CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 JPH0597352(A) 申请公布日期 1993.04.20
申请号 JP19910253862 申请日期 1991.10.01
申请人 SANKI ENG CO LTD 发明人 ASANUMA TATSUO;KITAMURA HIDEKI;MAEKAWA KOICHIRO
分类号 B65G49/00;B66B9/00;F24F7/06 主分类号 B65G49/00
代理机构 代理人
主权项
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