| 发明名称 |
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06252388(A) |
申请公布日期 |
1994.09.09 |
| 申请号 |
JP19930037994 |
申请日期 |
1993.02.26 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KATO CHIHARU;KURIKI MINORU;ITOGA YOSHIO;FUDA MASANORI;URANO SATOSHI |
| 分类号 |
H01L21/308;H01L21/28;H01L21/316;H01L29/43;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/784;H01L29/46 |
主分类号 |
H01L21/308 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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