发明名称 VERTICAL LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH METHOD AND SYSTEM THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH07315982(A) 申请公布日期 1995.12.05
申请号 JP19940134891 申请日期 1994.05.26
申请人 SHOWA DENKO KK 发明人 YOSHINAGA ATSUSHI
分类号 C30B19/00;H01L21/208;(IPC1-7):C30B19/00 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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