| 发明名称 |
PRODUCTION OF CARBON THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07315987(A) |
申请公布日期 |
1995.12.05 |
| 申请号 |
JP19940111152 |
申请日期 |
1994.05.25 |
| 申请人 |
FUKUOKA PREF GOV;RES DEV CORP OF JAPAN |
发明人 |
ISAYAMA MUNETOSHI;EGAMI KAZUKO;KUNITAKE TOYOKI |
| 分类号 |
C01B31/02;C01B31/04;C23C20/06;C30B29/02;C30B29/68;C30B33/02;(IPC1-7):C30B29/02 |
主分类号 |
C01B31/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
