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发明名称
SURFACE TREATMENT MEMBER, EQUIPMENT AND METHOD
摘要
申请公布号
JPH0855831(A)
申请公布日期
1996.02.27
申请号
JP19940212125
申请日期
1994.08.12
申请人
SONY CORP
发明人
INAGAKI YASUSHI
分类号
B08B3/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
B08B3/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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