发明名称 SURFACE TREATMENT MEMBER, EQUIPMENT AND METHOD
摘要
申请公布号 JPH0855831(A) 申请公布日期 1996.02.27
申请号 JP19940212125 申请日期 1994.08.12
申请人 SONY CORP 发明人 INAGAKI YASUSHI
分类号 B08B3/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
主权项
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