发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0855819(A) 申请公布日期 1996.02.27
申请号 JP19940193239 申请日期 1994.08.17
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 NISHIBAYASHI YOSHIKI;SHIOMI HIROSHI;SHIKADA SHINICHI
分类号 H01L21/28;H01L21/04;H01L29/43;H01L29/47;H01L29/872;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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