发明名称 VAPOR DRYING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH1092787(A) 申请公布日期 1998.04.10
申请号 JP19960245177 申请日期 1996.09.17
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OSAKO TAKASHI
分类号 F26B3/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 F26B3/02
代理机构 代理人
主权项
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