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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0162934(B1) 申请公布日期 1999.02.01
申请号 KR19940016242 申请日期 1994.07.07
申请人 HITACHI LTD. 发明人 GAWADA, HIROKI;DAKAHASI, GAZE;EDAMURA, MANABU;GANAI, SABUROH;DAMURA, NAOYUKI
分类号 C04B41/87;C01B31/00;C04B41/00;C04B41/52;C04B41/89;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C04B41/87
代理机构 代理人
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