发明名称 WAFER PROBING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11251379(A) 申请公布日期 1999.09.17
申请号 JP19980047782 申请日期 1998.02.27
申请人 TOSHIBA MICROELECTRONICS CORP;TOSHIBA CORP 发明人 NEBUTANI SHIYUNSUKE
分类号 G01R1/06;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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