| 发明名称 |
Ätzverfahren für Heterostrukturen aus Materialien der III-V Gruppe |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69327779(T2) |
申请公布日期 |
2000.06.29 |
| 申请号 |
DE1993627779T |
申请日期 |
1993.10.29 |
| 申请人 |
THOMSON-CSF, PARIS |
发明人 |
DELAGE, SYLVAIN;BLANCK, HERVE;CASSETTE, SIMONE |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/73;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/28 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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