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发明名称
摘要
申请公布号 JP3285147(B2) 申请公布日期 2002.05.27
申请号 JP19990070437 申请日期 1999.03.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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