基板移载装置

摘要

本发明提供一种基板移载装置，该基板移载装置包括一第一载具、一第二载具及一工作台。该第一载具是两端开口的箱体，包括一顶板、一底板及两侧板，该两侧板上设有互相对应的基板托片；该第二载具是一端开口的箱体，其内设有基板托片；该工作台是由一平台、一推板及一中转装置构成，该平台是用以支撑第一载具及第二载具，该中转装置固定设置在平台上并置于该第一载具和第二载具之间，该推板可通过该第一载具、第二载具及中转装置并在其间作往返运动。该中转装置包括一定位尺及一高度可调节的中转箱，该定位尺是靠近该中转箱设置，该中转箱具有一顶板和两侧板，该顶板设有一平衡杆与该定位尺配合，其两侧板是由多个支撑板及“X”型交叉杆构成。

主权项

1.一种基板移载装置，包括一第一载具、一第二载具和一工作台，该第一载具是两端开口的箱体，其包括一顶板、一底板及两侧板，该两侧板上设有相互对应的基板托片，该第二载具是一端开口的箱体，其内设有基板托片，该工作台是一平台，该平台用来支撑第一载具及第二载具，其特征在于：该工作台进一步包括一推板和一中转装置，该中转装置固定设置在平台上并置于第一载具和第二载具之间，该推板可通过第一载具、第二载具及中转装置并在其间作往复运动，该中转装置是由一定位尺及一高度可调节的中转箱构成，该定位尺是靠近该中转箱设置，该中转箱具有一顶板和两侧板，该顶板设有一平衡杆和定位尺配合，其两侧板是由多个支撑板及“X”型交叉杆构成。