发明名称 Metal interconnection of semiconductor device and fabrication method thereof
摘要
申请公布号 KR100618783(B1) 申请公布日期 2006.08.31
申请号 KR20030047204 申请日期 2003.07.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址