发明名称 A CHEMICAL MECHANICAL POLISHING APPARATUS, A CARRIER HEAD FOR THE CHEMICAL MECHANICAL POLISHING APPARATUS, RETAINING RING FOR THE CARRIER HEAD, AND METHOD FOR THE CHEMICAL MECHANICAL POLISHING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100726507(B1) 申请公布日期 2007.06.11
申请号 KR20000015495 申请日期 2000.03.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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