| 主权项 |
1.一种固体摄像装置,其特征在于具备: 受光部,其系设置于设定在半导体基板之表面之影 像区内,将入射光转换成信号电荷者; 至少1个传输通道,其系单向地延伸于上述影像区 内者; 传输电极组,其系将上述影像区上从与上述传输通 道交叉之方向横切而延伸,为了经由上述传输通道 传输上述信号电荷而施加有复数相之传输信号者; 及 传输信号配线组,其系于上述半导体基板上,沿着 上述影像区周边设置,对于上述各相之各传输信号 ,将输入有该传输信号之输入端子与施加有该传输 信号之传输电极之端部之间予以连接者; 构成上述组之传输信号配线之中,相较于上述传输 电极组中连接于上述传输通道上之表面积小之传 输电极之传输信号配线,上述传输电极组中连接于 上述传输通道上之表面积大之传输电极之传输信 号配线系电阻较小。 2.如请求项1之固体摄像装置,其中 构成上述组之传输电极之数目为3以上,构成上述 组之传输信号配线之电阻之大小顺序系与连接于 其等传输信号配线之传输电极之上述传输通道上 之表面积之大小顺序相反。 3.如请求项1之固体摄像装置,其中 构成上述组之传输信号配线之中,相较于连接于上 述传输通道上之表面积小之传输电极之传输信号 配线,连接于上述传输通道上之表面积大之传输电 极之传输信号配线系宽度设定为较宽。 4.如请求项1之固体摄像装置,其中 构成上述组之传输信号配线之中,相较于连接于上 述传输通道上之表面积小之传输电极之传输信号 配线,连接于上述传输通道上之表面积大之传输电 极之传输信号配线系片电阻设定为较小。 5.如请求项1之固体摄像装置,其中 构成上述组之传输信号配线之中,相较于连接于上 述传输通道上之表面积小之传输电极之传输信号 配线,连接于上述传输通道上之表面积大之传输电 极之传输信号配线系厚度设定为较厚。 6.如请求项1之固体摄像装置,其中 构成上述组之传输信号配线中,相较于上述传输电 极组中连接于负载电容小之传输电极之传输信号 配线,上述传输电极组中连接于负载电容大之传输 电极之传输信号配线系电阻较小。 7.如请求项1之固体摄像装置,其中 构成上述组之传输信号配线中,相较于上述传输电 极组中连接于时间常数小之传输电极之传输信号 配线,上述传输电极组中连接于时间常数大之传输 电极之传输信号配线系电阻较小。 8.如请求项1之固体摄像装置,其中 上述复数相之传输信号中特定相之传输信号系分 割为互相独立地选择并输入之复数子传输信号; 传达上述特定相之传输信号之输入端子及传输信 号配线系分别分割成与上述子传输信号之数目同 数之子输入端子及子传输信号配线; 传达上述特定相之传输信号之复数子传输信号配 线系分配为关于上述单向而排列之传输电极之复 数组,连接于各组对应之传输电极; 相较于传达其他相之传输信号之传输信号配线,传 达上述特定相之传输信号之上述子传输信号配线 系宽度系设定为较窄。 9.一种固体摄像装置,其特征在于具备: 受光部,其系设置于设定在半导体基板之表面之影 像区内,将入射光转换成信号电荷者; 至少1个传输通道,其系单向地延伸于上述影像区 内者; 传输电极组,其系将上述影像区上从与上述传输通 道交叉之方向横切而延伸,为了经由上述传输通道 传输上述信号电荷而施加有复数相传输信号者;及 传输信号配线组,其系于上述半导体基板上,沿着 上述影像区周边设置,对于上述各相之各传输信号 ,将输入有该传输信号之输入端子与施加有该传输 信号之传输电极之端部之间予以连接者; 构成上述组之传输信号配线之中,相较于上述传输 电极组中连接于负载电容小之传输电极之传输信 号配线,上述传输电极组中连接于负载电容大之传 输电极之传输信号配线系电阻设定为较小。 10.一种固体摄像装置,其特征在于具备: 受光部,其系设置于设定在半导体基板之表面之影 像区内,将入射光转换成信号电荷者; 至少1个传输通道,其系单向地延伸于上述影像区 内者; 传输电极组,其系将上述影像区上从与上述传输通 道交叉之方向横切而延伸,为了经由上述传输通道 传输上述信号电荷而施加有复数相传输信号者;及 传输信号配线组,其系于上述半导体基板上,沿着 上述影像区周边设置,对于上述各相之各传输信号 ,将输入有该传输信号之输入端子与施加有该传输 信号之传输电极之端部之间予以连接者; 构成上述组之传输信号配线之中,相较于上述传输 电极组中连接于时间常数小之传输电极之传输信 号配线,上述传输电极组中连接于时间常数大之传 输电极之传输信号配线系电阻较小。 图式简单说明: 图1系表示作为本发明之第一实施型态之2次元影 像感测器之概略构成之平面图。 图2A系表示图1之2次元影像感测器之垂直传输信号 输入端子之时钟脉冲波形图;图2B系表示图1之2次 元影像感测器之影像区中央部之垂直传输电极之 时钟脉冲波形图。 图3A、3B系分别表示图2B中之时序1、2之垂直 传输电极正下之电位之图。 图4系表示作为本发明之第二实施型态之2次元影 像感测器之概略构成之平面图。 图5系表示图1及以往之2次元影像感测器之垂直传 输电极之构成之平面图。 图6为图5之A-A'线箭视剖面图。 图7系表示以往之2次元影像感测器之概略构成之 平面图。 图8系表示以往其他之2次元影像感测器之概略构 成之平面图。 图9A系表示图7之2次元影像感测器之垂直传输信号 输入端子之时钟脉冲波形图;图9B系表示图7之2次 元影像感测器之影像区中央部之垂直传输电极之 时钟脉冲波形图。 图10A、10B系分别表示图9B中之时序1、2之垂直 传输电极正下之电位之图。 |
