| 摘要 |
<p>Den foreliggende oppfinnelse angår måleanordninger brukt til å måle fysikalske mengder, så som akselerasjon, vinkelakselerasjon eller vinkelhastighet og mer presist til mikromekaniske bevegelsessensorer. Arealet i skiveplanet til en bevegelsessensorkomponent i henhold til foreliggende oppfinnelse er mindre enn arealet til bevegelsessensorkomponenten som er blitt skåret ut som terning og snudd 90?. Følgelig er høyden av bevegelsessensorkomponenten i henhold til foreliggende oppfinnelse hvor den er blitt snudd 90?, mindre i retning av sammenføyningen enn tykkelsen til skivestabelen dannet av de sammenføyde skiver. Hensikten med foreliggende oppfinnelse er å tilveiebringe en forbedret fremgangsmåte til å fremstille en mikromekanisk bevegelsessensor og å tilveiebringe en mikromekanisk bevegelsessensor som er egnet spesielt for anvendelse i små mikromekaniske bevegelsessensorløsninger.</p> |
