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resumo “processo e reator de plasma para tratamento termoquímico de superfície de peças metálicas" o reator (r) tem uma câmara de reação (rc) provida de um suporte (s) para as peças metálicas (1) e de um sistema de anodo (2), conectado a um aterramento (2b), e de cátodo (3) conectado ao suporte (s) e a uma fonte de energia cc pulsada (10). na câmara de reação (rc) aquecida e alimentada com uma carga de gás, é formado, por descarga elétrica no catodo (3), um plasma gasoso. um precursor líquido ou gasoso é admitido em pelo menos uma câmara tubular de craqueamento (20) associada a uma fonte de energia de alta tensão (30). pode ser provida pelo menos uma câmara tubular de pulverização catódica (40) associada a uma fonte de energia elétrica (50) recebendo um precursor sólido. uma diferença de potencial é aplicada entre o anodo (2) e uma e/ou outra de ditas câmaras tubulares (20,40), para liberar os elementos de liga a serem ionicamente bombardeados contra as peças metálicas (1), simultânea ou individualmente e em qualquer ordem. 1/1 |
