| 摘要 |
표면을 포함하는 제1 유전체 층, 유전체 층 표면 내에 정의된 복수의 제1 트렌치, 및 복수의 제1 배선을 포함하고, 제1 배선들 각각은 제1 트렌치들 각각 내에 형성되는 집적 회로 및 집적 회로를 형성하는 방법이 개시된다. 집적 회로는 또한 유전체 층 표면 내에 정의된 복수의 제2 트렌치, 및 복수의 제2 배선을 포함하고, 제2 배선들 각각은 제2 트렌치들 각각 내에 형성된다. 또한, 제1 배선은 제1 벌크 비저항을 갖는 제1 재료를 포함하고 제2 배선들은 제2 벌크 비저항을 갖는 제2 재료를 포함하고, 제1 벌크 비저항과 제2 벌크 비저항은 서로 다르다. |
