| 摘要 |
Кремниевый фотоэлектронный умножитель для регистрации одиночных фотонов, содержащий кремниевую подложку и два электрода с контактными площадками, расположенными на фронтальной поверхности устройства, первый из которых соединен через металлические шины со множеством фоточувствительных ячеек, размещенных в слаболегированном эпитаксиальном слое, а второй электрод соединен с сильнолегированным слоем, размещенным между кремниевой подложкой и эпитаксиальным слоем и имеющим проводимость, обратную проводимости кремниевой подложки, отличающийся тем, что дополнительно введен третий электрод, размещенный на нижней поверхности кремниевой подложки, которая имеет удельное сопротивление менее одного Ом∙см. |
