发明名称 PROCESS FOR DEPOSITING A TANTALUM OXIDE CONTAINING COATING
摘要
申请公布号 US3502502(A) 申请公布日期 1970.03.24
申请号 USD3502502 申请日期 1967.01.05
申请人 MOTOROLA INC. 发明人 THOMAS W. ELSBY
分类号 C01B13/20;C23C16/40;H01L23/29;(IPC1-7):B44D1/18;C23C13/02 主分类号 C01B13/20
代理机构 代理人
主权项
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