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经营范围
发明名称
Einrichtung zum Abscheiden von Halbleitermaterial aus der Gasphase und Niederschlagen auf Substraten
摘要
申请公布号
DE1644022(A1)
申请公布日期
1971.03.25
申请号
DE19671644022
申请日期
1967.12.06
申请人
SIEMENS AG
发明人
DR. WARTENBERG,KLAUS,DIPL.-CHEM.
分类号
C23C16/458;C30B25/12
主分类号
C23C16/458
代理机构
代理人
主权项
地址
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