发明名称 CONTROL SYSTEM FOR WAFER TEST APPARATUS
摘要
申请公布号 US3585480(A) 申请公布日期 1971.06.15
申请号 USD3585480 申请日期 1968.11.19
申请人 TRANSISTOR AUTOMATION CORP. 发明人 JOHNNY T. KIRKPATRICK
分类号 G05B19/23;G05B19/40;(IPC1-7):G05B1/06 主分类号 G05B19/23
代理机构 代理人
主权项
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