发明名称 OHMIC CONTACTS FOR GALLIUM ARSENIDE
摘要 Improved contact resistance to a gallium arsenide body is obtained by alloying the contact metal into the GaAs body in an arsenic vapor atmosphere.
申请公布号 US3647536(A) 申请公布日期 1972.03.07
申请号 USD3647536 申请日期 1970.06.05
申请人 INTERNATIONAL STANDARD ELECTRIC CORP. 发明人 GEORGE KING;JOHN WILLIAM FREDERICK RAYNER;ANTHONY CHARLES POWELL
分类号 H01L21/285;H01L47/00;(IPC1-7):C23B5/50;C23C1/04;C23C13/04 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
地址