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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0523140(U)	申请公布日期	1993.03.26
申请号	JP19910014535U	申请日期	1991.02.22
申请人		发明人
分类号	G01P15/12;G01P15/18;H01L29/84	主分类号	G01P15/12
代理机构		代理人
主权项
地址

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