| 发明名称 |
APPARATUS FOR FORMING FILMS IN VACUUM |
| 摘要 |
PURPOSE:An ion plating apparatus capable of forming films without containing impurities. |
| 申请公布号 |
JPS5210867(A) |
申请公布日期 |
1977.01.27 |
| 申请号 |
JP19750086860 |
申请日期 |
1975.07.15 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SHIMIZU YASUHIRO;SHINOHARA KOUICHI |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/32;C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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