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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0524616(B2)
申请公布日期
1993.04.08
申请号
JP19840226034
申请日期
1984.10.29
申请人
LEYBOLD AG
发明人
FUORUKAA BAUAA;HORUSUTO RANKE
分类号
C23C14/30;C23C14/32;H01J37/147;H01J37/30;H01J37/305
主分类号
C23C14/30
代理机构
代理人
主权项
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