| 发明名称 |
METHOD OF INSPECTING POSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5498268(A) |
申请公布日期 |
1979.08.03 |
| 申请号 |
JP19780153784 |
申请日期 |
1978.12.14 |
| 申请人 |
IBM |
发明人 |
DONARUDO YUUJIN DEEBISU;EDOWAADO BIKUTAA UIIBA;MOORISU KAAMAN UIRIAMUZU;ORII KURIFUTON UTSUDAADO |
| 分类号 |
G01B15/00;H01J37/304;H01L21/027;H01L21/302 |
主分类号 |
G01B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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