Method and apparatus for obtaining particle beams the density of which is spatially modulated, application to etching and to ion implantation.

摘要

Procédé et dispositif d'obtention de faisceaux de particules de densité spatialement modulée, application à la gravure et à l'implantation ioniques. L'invention consiste par exemple à faire passer les particules d'un faisceau (3), à un état excité de longue durée de vie, à ioniser sélectivement des particules excitées à l'aide de lumière (7) d'énergie suffisante et d'intensité spatialement modulée, dirigée sur les particules excitées, et à séparer les particules ionisées des particules demeurant excitées, de manière à obtenir un faisceau (22) de particules excitées et un faisceau (21) de particules ionisées, de densité spatialement modulée.