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发明名称
摘要
申请公布号	JPS633084(Y2)	申请公布日期	1988.01.26
申请号	JP19830090292U	申请日期	1983.06.13
申请人		发明人
分类号	H01J49/04;G01N27/62;G01N30/72;(IPC1-7):H01J49/04	主分类号	H01J49/04
代理机构		代理人
主权项
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