发明名称 |
METHOD OF ISOLATING INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6340337(A) |
申请公布日期 |
1988.02.20 |
申请号 |
JP19870168506 |
申请日期 |
1987.07.06 |
申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
RICHIYAADO EI CHIYATSUPUMAN;KURARENSU WAN SHIN TEN |
分类号 |
H01L21/316;H01L21/76;H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/316 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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