发明名称 METHOD OF ISOLATING INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS6340337(A) 申请公布日期 1988.02.20
申请号 JP19870168506 申请日期 1987.07.06
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 RICHIYAADO EI CHIYATSUPUMAN;KURARENSU WAN SHIN TEN
分类号 H01L21/316;H01L21/76;H01L21/762 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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