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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02151064(A) 申请公布日期 1990.06.11
申请号 JP19880305000 申请日期 1988.12.01
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HAYASHIDA HIROYUKI;TOYOSHIMA YOSHIAKI
分类号 H01L27/092;H01L21/8238 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
主权项
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