发明名称 WORKING METHOD OF SEMICONDUCTOR FINE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02183532(A) 申请公布日期 1990.07.18
申请号 JP19890003337 申请日期 1989.01.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 DAIKU HIROSHI;WATANABE SHUJI;ARINAGA KENJI;MIYAMOTO YOSHIHIRO;KUBO KAZUYA
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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