发明名称 UNIT FOR PULLING UP SILICON SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH05270967(A) 申请公布日期 1993.10.19
申请号 JP19920070960 申请日期 1992.03.27
申请人 发明人
分类号 C30B15/00;C30B15/10;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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