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经营范围
发明名称
UNIT FOR PULLING UP SILICON SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号
JPH05270967(A)
申请公布日期
1993.10.19
申请号
JP19920070960
申请日期
1992.03.27
申请人
发明人
分类号
C30B15/00;C30B15/10;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00
主分类号
C30B15/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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