发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0685259(A) 申请公布日期 1994.03.25
申请号 JP19930176957 申请日期 1993.07.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HORIE HIROSHI;IMAI MASAHIKO;KISHII SADAHIRO
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/417;H01L29/45;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/784;H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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