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发明名称 SILICON SEMICONDUCTOR WAFER AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0855767(A) 申请公布日期 1996.02.27
申请号 JP19940188226 申请日期 1994.08.10
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP;MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP 发明人 ISHIGAMI SHUNICHIRO;KONDO HIDEYUKI;FURUYA HISASHI
分类号 H01L21/322;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
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