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发明名称
ETCHING METHOD OF POLYSILICON FILM
摘要
申请公布号
KR970001203(B1)
申请公布日期
1997.01.29
申请号
KR19920006720
申请日期
1992.04.22
申请人
NIPPON ELECTRIC KK.
发明人
OIKAWA, HIROKAZ
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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